ES650自動化探針系統

更新時間：2025-11-12

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產品報價：

產品特點：ES650自動化探針系統是一種2針探測解決方案，適用于封裝級、晶圓級和電路板級器件上的HBM、MM、TLP、HMM、CC-TLP、LI-CCDM、RP-CCDM和CDM（JS-002）測量的自動化探針臺。

ES650自動化探針系統的詳細資料：

ESDEMC Technology LLC 由 Wei Huang 于 2011 年 3 月在美國密蘇里州羅拉創立。ESDEMC 開發 ESD 和 EMC 解決方案。公司致力于提供創新、先進、高質量和具有成本效益的解決方案以及一般咨詢、測試服務和定制項目。產品包括充電設備模型 (CDM) 系統、電纜放電事件 (CDE) 系統、ESD 模擬器、脈沖衰減器、電流探頭、用于射頻發射/免疫的 TEM 電池、高壓直流電源、定制的高壓/射頻設計。ESDEMC Technology 自 2012 年以來一直是 ESD 協會的企業會員。

ES650自動化探針系統是一種2針探測解決方案，適用于封裝級、晶圓級和電路板級器件上的HBM、MM、TLP、HMM、CC-TLP、LI-CCDM、RP-CCDM和CDM（JS-002）測量的自動化探針臺。除ESD測試解決方案外，ES650還可單獨用于其自動化探測功能，使以下探針應用達到精確自動化：射頻測量、I-V曲線跟蹤和許多其他需要精確探測的應用。探測系統使用兩個獨立控制的（左和右）XYZ機架，帶有探針，用于接觸芯片或晶圓上的引腳或焊盤。ES650不需要插座PCB，與基于繼電器的解決方案相比，寄生效應更少。此外，該系統還支持多器件測試，可實現多器件自動分類的測試中故障檢查和停止判斷標準。

探針測試是器件測試中非常耗時的一部分，尤其是對于采用HBM的高引腳數器件，大多數引腳都需要通過所有可能的2引腳組合進行測試。全自動測試系統可以大大提高測試效率，減少時間和測量誤差。

除HBM脈沖模塊外，ES650還提供用于其他脈沖測試的模塊，如MM和HMM，以及CDM類型的解決方案，如FICDM、LI-CCDM、CC-TLP和RP-CCDM（一種正在申請的基于接觸式第一繼電器的CDM方法）。該系統還能為TLP、EOS、射頻探測等其他測試方法提供機械測量。

產品特點

● 通過每個探針臂上的高分辨率攝像頭可輕松實現針腳對準

● 高精度運行控制系統（最小精度1微米）

● 批量器件測試

● 漏電探測

● 自動防撞

● 測試時可通過攝像頭觀察探針接觸情況

● 可定制測試尺寸，適合所有類型的器件測試要求

● 電流探頭采用近DUT設計

● 設備配套程序

● HBM測試模塊

● 數據分析

產品應用

● 全自動2針探測系統

● S測試多種流行的ESD標準和方法，具有泄露測試功能：

√ ANSI/ESDA/JEDECJS-001-2017 (HBM)

√ ANSI/ESDASTM5.2-2019 (MM)

√ ANSI/ESDASP5.6-2009 (HMM)

√ ANSI/ESDASTM5.5.1-2016 (TLP)

√ ANSI/ESDA/JEDECJS-002-2018 (FICDM)

√ CC-TLP (ESDA SP 待定,需要VF-TLP)

√ ANSI/ESDSP5.3.3-2018 (LI-CCDM, 需要 VF-TLP)

√ RP-CCDM測試（申請中）

√ 可以按需定制

ES650自動化探針系統產品規格

型號	ES650-150	ES650-300	單位	備注
XY測試范圍	≥ 150X150	≥ 300X300	mm	探針臂測試范圍
Z軸行程	≥ 50		mm
X，Y，Z步長	1		μm
重定位精度	≤ ±6		μm
測試電壓范圍	±1 to 2000 or 12000		V	可定制
測試電壓步長	1		V
測試電壓精度	± 1%±0.1V		% V
XY分辨率	1920 X 1080		像素	支持縮放與移動
主攝像頭分辨率	2592 X 1944		像素	支持縮放與移動
工作溫度	10 to 40		（°C）
工作濕度	10 to 80		%
供電	120-240 VAC, 50/60 Hz		VAC